半導(dǎo)體制造業(yè)可以說是現(xiàn)代電子工業(yè)的核心產(chǎn)業(yè),廣泛應(yīng)用于計(jì)算機(jī)、通信、汽車、醫(yī)療等領(lǐng)域。而在半導(dǎo)體生產(chǎn)加工過程中,如刻蝕、 鍍膜、 擴(kuò)散、沉積、退火等環(huán)節(jié),真空泵都是必不可少的關(guān)鍵設(shè)備,它可以構(gòu)建穩(wěn)定受控的真空環(huán)境,以避免產(chǎn)品出現(xiàn)污染、氧化或者其他缺陷,對于半導(dǎo)體產(chǎn)品的品質(zhì)、壽命以及性能都有著不可忽視的影響。

為保證真空泵系統(tǒng)安全穩(wěn)定運(yùn)行,物通博聯(lián)提供基于工業(yè)智能網(wǎng)關(guān)的數(shù)據(jù)采集遠(yuǎn)程監(jiān)控系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)真空泵運(yùn)行狀態(tài)及工藝參數(shù)的在線監(jiān)控與預(yù)警,從而幫助工廠及時采取措施,保證生產(chǎn)安全與產(chǎn)品質(zhì)量。
數(shù)據(jù)采集困難:真空泵通常分布在生產(chǎn)現(xiàn)場或遠(yuǎn)程地點(diǎn),傳統(tǒng)的手動采集數(shù)據(jù)方式需要人工去現(xiàn)場抄寫數(shù)據(jù),工作量大,因此需要數(shù)據(jù)采集實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控。
故障發(fā)現(xiàn)慢:真空泵運(yùn)行出現(xiàn)故障無法及時感知,一旦出現(xiàn)故障就會影響生產(chǎn)的穩(wěn)定性和安全性,同時造成物料浪費(fèi),因此需要故障預(yù)警報(bào)警機(jī)制。
數(shù)據(jù)應(yīng)用難題:真空泵產(chǎn)生的數(shù)據(jù)包括壓強(qiáng)、溫度、振動等多種參數(shù),需要進(jìn)行實(shí)時處理和分析,需要數(shù)據(jù)報(bào)表及展示分析渠道,實(shí)現(xiàn)提質(zhì)增效、節(jié)能優(yōu)化等。
半導(dǎo)體工業(yè)正在逐步實(shí)現(xiàn)自動化生產(chǎn),真空泵系統(tǒng)通過PLC自動化控制已經(jīng)得到廣泛應(yīng)用,因此只需要將物通博聯(lián)工業(yè)智能網(wǎng)關(guān)接入到PLC,就能實(shí)時采集PLC內(nèi)真空泵的工作參數(shù)(壓強(qiáng)、溫度、振動等)并通過5G/4G/WIFI/以太網(wǎng)等方式上傳到云平臺或本地上位機(jī),進(jìn)而實(shí)現(xiàn)設(shè)備遠(yuǎn)程監(jiān)控、故障報(bào)警、遠(yuǎn)程控制及遠(yuǎn)程維護(hù)等功能。
通過手機(jī)端和電腦端,工廠可以遠(yuǎn)程查看工藝組態(tài)畫面,了解每臺真空泵的運(yùn)行狀態(tài)、工藝參數(shù)、故障信息、運(yùn)維記錄等,從而實(shí)現(xiàn)及時管理控制,維護(hù)安全穩(wěn)定的生產(chǎn)秩序。

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通過物通博聯(lián)網(wǎng)關(guān)可以實(shí)時采集真空泵的運(yùn)行狀態(tài)數(shù)據(jù),如壓強(qiáng)、溫度、振動等,并將這些數(shù)據(jù)上傳平臺生成可視化圖表,方便快速查詢實(shí)時數(shù)據(jù)和歷史數(shù)據(jù)。
系統(tǒng)可以自定義云組態(tài),通過監(jiān)控真空泵系統(tǒng)工藝流程,在線查看每臺真空泵工作狀態(tài)和參數(shù)變化,支持自定義編輯,通過拖拉拽添加/刪除控件,操作簡單易懂。
通過手機(jī)或電腦等智能終端,讓用戶可以隨時隨地查看真空泵的實(shí)時運(yùn)行狀態(tài)和歷史數(shù)據(jù),和遠(yuǎn)程控制設(shè)備啟停,調(diào)節(jié)設(shè)備參數(shù),提高了設(shè)備的管理效率和生產(chǎn)效益。
故障報(bào)警
通過設(shè)置報(bào)警閾值,當(dāng)真空泵出現(xiàn)異常情況時,系統(tǒng)會自動報(bào)警并記錄異常信息,自動通過微信、短信、郵箱等方式通知管理運(yùn)維人員,便于用戶快速發(fā)現(xiàn)并解決問題,減少生產(chǎn)損失與物料浪費(fèi)。
通過物通博聯(lián)設(shè)備維護(hù)快線,工程師可以對異地PLC進(jìn)行遠(yuǎn)程編程調(diào)試和遠(yuǎn)程上下載程序等操作,減少出差和花銷,提高工作效率和售后服務(wù)質(zhì)量。
根據(jù)采集到的數(shù)據(jù)進(jìn)行分析和處理,可以了解設(shè)備性能、能耗水平,也能預(yù)測可能出現(xiàn)的問題,采取措施進(jìn)行管理優(yōu)化,提高生產(chǎn)效率。
物通博聯(lián)真空泵系統(tǒng)數(shù)據(jù)采集遠(yuǎn)程監(jiān)控解決方案,通過對真空泵系統(tǒng)的實(shí)時監(jiān)控和故障報(bào)警,實(shí)現(xiàn)對半導(dǎo)體芯片生成過程的真空環(huán)境進(jìn)行精細(xì)控制,保證過程中的參數(shù)穩(wěn)定正常,能夠保證企業(yè)提高設(shè)備效率和可靠性,減少停工和維護(hù)時間,為企業(yè)帶來更多的經(jīng)濟(jì)效益。